【财新网】(记者 何书静)荷兰光刻机制造商ASML的极紫外(EUV)光刻机正在逐步放量,下一代EUV量产预计在2025年。1月20日,ASML公布2020年全年财报,当年总共销售31台EUV,较前一年增加5台,创收45亿欧元,收入同比增长六成。
ASML(ASML. NASDAQ)是世界上少数几家制造芯片光刻机的企业,光刻机在芯片生产中极为关键。其中极紫外光刻机(EUV)仅有ASML能够生产,这种设备主要用于生产7纳米及更先进制程的芯片。2020年年底,中芯国际被美国列入实体清单时,美国商务部就特别明确,将原则上拒绝向其出口EUV等支持先进制程开发的技术。(详见《财新周刊|中芯国际调路线 》)